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文章出处:网责任编辑:作者:admin人气:180  发表时间:2018-03-21 14:02:07

选用德赢 米兰时,需要注意下列事项:

1、德赢 米兰的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度,选用的德赢 米兰的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。  2、正确地选择德赢 米兰的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。  3、德赢 米兰在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合德赢 米兰。由于德赢 米兰有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的德赢 米兰不能在大气压下工作,需要预真空;有的德赢 米兰出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。  5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。   6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择德赢 米兰时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。  7、德赢 米兰排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油德赢 米兰,或者把油蒸气排到室外。  8、德赢 米兰工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。  9、德赢 米兰的价格、运转及维修费用。
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